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栅极氧化层在SiC MOSFET设计中的重要作用
栅极氧化层在SiC MOSFET设计中的重要作用
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·英飞凌工业半导体 赵佳 碳化硅功率半导体在光伏、充电、电动汽车等行业得到了广泛应用,其潜力毋庸置疑。然而,从当前高功率碳化硅MOSFET来看,仍存在一个难题:即如何实现平衡性能、鲁棒性、可靠性和易用性的设计。比导通电阻是衡量SiC MOSFET技术先进性的关键参数,但其它标准,例如可靠性,也是制约器件表现的重要因素。对于不同的应用,导通电阻与可靠性之间的折衷也略有差异。因此,合理的器件定义应当保证设计灵活性,以满足不同的任务需求,无需大量设计工作和设计布局变化。
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