中自数字移动传媒

您的位置:首页 >> 产业动态 >> 光刻机研发:哈工大在国家急需时刻从不缺席

光刻机研发:哈工大在国家急需时刻从不缺席

已有3061次阅读2021-02-06标签:


在国家急需光刻机之际,哈工大的DPP-EUV光源出来了——这是哈工大在超精密加工,超精密测量领域几十年积累的结果!

中科院长春光机所在光刻机所需的透镜及曝光系统上早已有突破,而长春光机所在实验室已经搭建出了一套EUV光源设备。

如今长春光机所正基于哈工大DPP-EUV光源研制EUV曝光机,预计两年内可推出。

科普一下,光刻机的两大核心部件为双工件台和曝光系统。EUV光刻的全称为极紫外光刻(Extreme Ultra-violet),其光源主要有2种:

1、一种是DPP-EUV极紫外光源。放电激发等离子体EUV极紫外光源

荷兰ASML光刻机公司,哈工大研究的都是这一种。


DPP EUV光源利用放电使负载(Xe或Sn)形成等离子体,辐射出紫外线,利用多层膜反射镜多次反射净化能谱,获得1EUV光。

DPP EUV光源的优点是产生EUV的能量转换效率高,造价低;缺点是电极热负载高,产生碎片多,机制复杂,光学器件易于受损,光收集角小。

2、激光等离子体光源(LPP)

LPP EUV系统主要包括激光器、汇聚透镜、负载、光收集器、掩膜、投影光学系统和芯片。

其原理是利用高功率激光加热负载(Xe或Sn)形成等离子体,等离子体辐射出紫外线,利用多层膜反射镜多次反射净化能谱,获得1EUV光。

LPP EUV光源的优点是光源尺寸小,产生碎片或粒子的种类少,光收集效率高以及较容易放大EUV输出功率。当然它也有缺点,主要是系统设计复杂,价格昂贵。

这2种光源。哈工大都在15年前就研究了!

中国研究EUV极紫外光源的2个主要单位是:

1、哈工大气体可调谐激光技术国家级重点实验室 。

2、中国科学院上海光机所(哈工大毕业的研究员负责的项目、副所长。神光2的负责人之一)。

而哈工大取的重大突破的是:

放电激发等离子体EUV极紫外光源。与荷兰ASML光刻机公司的是同一种EUV极紫外光源。

但是要把它做成为光刻机,还需要2年时间!

其实中国在1977年就成功研究了光刻机。那个时候,还没有荷兰ASML光刻机公司这个公司。

可惜在中国80年代,都是造不如买去了。

以前日本人走的是激光等离子体光源。兰ASML光刻机公司走的是气体放电激发等离子体EUV极紫外光源,哈工大气体可调谐激光技术国家级重点实验室研究的东西与ASML光刻机公司研究的一样。

目前荷兰光刻机的极紫外光源是美国产,还有一些主要部件是德国等国生产,清洗部件是蓝英装备生产。

如果3-5纳米光刻机两年内国产,则华为有救!哈工大功劳显著!

分享到:

[ 新闻搜索 ]  [ ]  [ 告诉好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 关闭窗口 ]  [ 返回顶部 ]

0条 [查看全部]  网友评论

移动互联

2010年,中国移动互联网用户规模达到3.03亿人2011年,中国移动互联网行业进入了更加快速发展的一年,无论是用户规模还是手机应用下载次数都有了快速的增长。在移动互联网发展的大的趋势下,中自传媒已经开始进行区别于传统互联网的运营模式探索,伴随着产业链和产业格局的变化提供创新的服务

更多>>推荐视频

工业转型升级-中国电器工业协会电力电子分会 秘书长 肖向锋

工业转型升级-中国电器工业协会

在本次2012北京国际工业自动化展上,我们将全面剖析在新...
中国高压变频器产业发展之路——走过十三年 李玉琢

中国高压变频器产业发展之路——

中国高压变频器产业发展之路走过十三年 李玉琢
从企业家角度 谈行业的未来发展——汇川技术股份有限公司

从企业家角度 谈行业的未来发展

从企业家角度 谈行业的未来发展汇川技术股份有限公司
现代能源变换的核心技术——电力电子 李崇坚

现代能源变换的核心技术——电力

中国电工技术学会常务理事---李崇坚,电力电子是先进能源...
打造专业电力电子元器件品牌 助力变频器产业发展

打造专业电力电子元器件品牌 助

联合主办单位深圳市智胜新电子有限公司领导嘉宾致辞 7月...