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PCIM Asia行业前瞻|双基底+300mm+混合路径:氮化镓下一程,一次理清

已有85次阅读2026-03-31标签:
 

短短数月内,氮化镓功率器件领域密集释放了三组关键信号。

 

先是去年11月,欧洲微电子研究中心(IMEC)在300mm QST衬底上成功制备出厚度达5微米的氮化镓HEMT器件,击穿电压超过800V。随后在12月,安森美与格芯宣布联合开发200mm氮化镓工艺。再到今年1月,世界先进与台积电达成氮化镓技术授权协议,并宣布成为全球首家同时掌握硅基氮化镓与基于新基底的高电压氮化镓制程的双基底代工平台。


这些动态指向同一个趋势:氮化镓功率器件的产业化进程,正在从器件性能竞争转向制造能力构建。

 

 

作为亚洲电力电子行业的风向标,PCIM Asia一直关注氮化镓制造生态的演进。今年,PCIM Asia将聚焦宽禁带半导体赛道的核心展品,设置碳化硅与氮化镓展示专区,还有氮化镓主题论坛,将邀请行业领军企业高层、技术专家、高校学者、产业研究员等嘉宾,分享氮化镓前沿技术与应用方案。此外,还有站在晶圆-衬底-芯片-器件-模块的全链条视角的功率半导体新锐峰会,将集中呈现第三代半导体从单点性能突破到体系化能力构建的最新进展。

双基底技术覆盖:全电压段成为代工门槛

 

世界先进与台积电的合作,核心价值在于技术路线的完整性。

 

硅基氮化镓工艺针对80V200V电压段,优势是成本可控且能复用现有8英寸硅产线,适合消费电子和低压电机驱动等对价格敏感的市场。而新基底高电压氮化镓制程则瞄准400V650V高压场景,通过工程化的热膨胀系数匹配解决了厚膜外延生长难题,适配数据中心电源、车载充电器和光伏逆变器。

 

这意味着单一代工平台现在可以同时满足80V650V的完整电压范围需求。过去代工厂往往聚焦单一基底路线,现在需要在成本敏感的低压市场和高可靠性的工业应用之间建立完整的工艺覆盖。

 

 

300mm突破:大尺寸决定下一轮成本曲线

 

如果说世界先进的授权协议代表当下可用的量产方案,那IMEC300mm氮化镓进展则指向未来五年的产业方向。

 

 

IMEC与信越化学合作,在300mm QST衬底上制备出5微米厚氮化镓HEMT器件,击穿电压超过800V,同时具备优异的平面均匀性。这一突破的关键在于QST衬底的材料特性——其热膨胀系数与氮化镓接近,能够在大尺寸晶圆上实现稳定、高质量的晶体生长,克服了硅基氮化镓在300mm尺寸下的晶圆翘曲和裂纹问题。



AIXTRON 提供的 300mm GaN-on-Si 晶圆,采用 imec 进行 p-GaN 刻蚀。来源:imec


 

竞争焦点转移:从技术突破到体系能力

 

综合近期动态,可以看到氮化镓制造生态正在经历三个结构性变化:全电压段覆盖能力成为代工门槛,IDM与代工厂的协同路径逐步清晰,300mm量产从远期愿景变为工程现实。

 

这些变化改变了游戏规则。过去拼的是单点技术突破,现在拼的是成本、良率和供应链响应速度。系统厂商不再被单一供应商绑定,可以在不同基底路线、不同代工平台之间进行选择。

 

826日至28日,深圳国际会展中心(宝安新馆),来自全球300多家领军企业将齐聚PCIM Asia深圳2026,展出氮化镓产业链上下游的最新成果。本届展会预计展览面积将达30,000平方米,吸引超过28,000名专业观众到场,共同探索以氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)为代表的第三代宽禁带半导体如何驱动未来产业革命。

 

当制造能力成为竞争的主战场,看懂产业生态的重构方向,比追逐单点技术突破更重要。

 

氮化镓的未来,并非独属于某一技术路线或某家巨头。它正成为一个由制造工艺、成本结构、生态协作共同定义的新赛场。PCIM Asia 2026,正是瞭望这一新赛场的最佳窗口。

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