早在2004年，太赫兹技术被美国提出，并且美国政府将太赫兹技术评为“改变未来世界的十大技术”之一；紧接着，日本也是将其列为“国家支柱十大重点战略目标”之首，举全国之力进行研发。太赫兹，因此成为各国积极发展的产业。
但是目前由于昂贵的成本导致运行频率，超过十万兆赫兹的系统使用受限。另外，目前的基于波导的系统体积太大而无法被泛使用。该技术基于硅晶片和有源毫米波单片集成电路(MMIC)进行微机械波导制造。波导允许将信号低功耗地传输到MMIC电路，并且还用作MMIC电路的外壳解决方案。
据研发人员介绍，这种新的解决方案可降低太赫兹系统生产成本，有望将成本降低到目前成本的十分之一，同时使部件体积明显减小。
在我国，太赫兹技术也是很早就得到了重视，在2017年里，半导体所研制出面向860GHzCMOS太赫兹图像传感器的像素器件、江苏苏州纳米所高灵敏度太赫兹探测器研究获得新进展、中国科学院紫金山天文台成功研制的“太赫兹超导阵列成像系统等，但是现在研发主要的方向在太赫兹检测、数据传输和太赫兹成像等方面，相信芬兰成功开发出太赫兹系统集成将会为我国发展太赫兹技术带来更多的想法和思路
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