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揭秘英特尔为何坚持10nm工艺?晶体密度更优于台积电、GF两家的7nm!

已有51380次阅读2018-06-15标签:
        Intel14nm工艺已经连续用了三代,还要再用一次,10nm则因为良品率始终无法达到满意程度而一再推迟,现在跳票到了2019年,而且上半年还是下半年Intel自己都不确定。相比之下,台积电、三星已经开始量产7nm,GlobalFoundries7nm也不远了。

Intel的技术真的不行了?显然不是。虽然都叫xxnm,但是对比之下,Intel无疑是最为严谨的,一直在追求最高的技术指标,也正因为如此再加上半导体工艺难度急剧增加,Intel10nm才一直难产。

目前,Intel10nm处理器已经小批量出货,已知产品只有一款低压低功耗的Corei3-8121U,由联想IdeaPad330笔记本首发。

TechInsight分析了这颗处理器,获得了一些惊人的发现,直接证实了Intel新工艺的先进性。

i3-8121U内核局部显微照片

分析发现,Intel10nm工艺使用了第三代FinFET立体晶体管技术,晶体管密度达到了每平方毫米1.008亿个(符合官方宣称),是目前14nm的足足2.7倍!

作为对比,三星10nm工艺晶体管密度不过每平方毫米5510万个,仅相当于Intel的一半多点,7nm则是每平方毫米1.0123亿个,勉强高过Intel10nm。

至于台积电、GF两家的7nm,晶体管密度比三星还要低一些。

换言之,仅就晶体管集成度而言,Intel10nm的确和对手的7nm站在同一档次上,甚至还要更好!

另外,Intel10nm的最小栅极间距(GatePitch)从70nm缩小到54nm,最小金属间距(MetalPitch)从52nm缩小到36nm,同样远胜对手。

事实上与现有其他10nm以及未来的7nm相比,Intel10nm拥有最好的间距缩小指标。

Intel 10nm的其他亮点还有:

-BEOL后端工艺中首次使用了金属铜、钌(Ru),后者是一种贵金属

-BEOL后端和接触位上首次使用自对齐曝光方案(self-alignedpatterningscheme)

-6.2-Track高密度库实现超级缩放(Hyperscaling)

-Cell级别的COAG(Contactonactivegate)技术

当然了,技术指标再先进,最终也要转换成有竞争力的产品,才算数。

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