3月30日晚间，中微公司发布年度业绩报告称，公司在2021年营业收入约31.08亿元，较2020年增加约8.35亿元，同比增长36.72%；2021年毛利为13.48亿元，较2020年增加约4.91亿元，同比增长57.38%；2021年归属于上市公司股东的净利润为10.11亿元，同比增长105.49%。

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中微公司表示，受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，2021年刻蚀设备收入为20.04亿元，较2020年增长约55.44%，毛率达到44.32%；由于下游市场原因以及2022年新签署的MiniLED MOCVD设备规模订单尚未确认收入，2021年MOCVD设备收入为5.03亿元，较2020年增长约1.53%，但MOCVD设备的毛利率达到33.77%，较2020年的18.65%有大幅度提升。

公司2021年新签订单金额为41.3亿元，较2020年增加约19.6亿元，同比增加约90.5%。

2021年，中微公司各主要产品均保持良好的增长趋势。其中，在MOCVD设备方面，中微公司蓝光照明Prismo A7以及深紫外LED外延片Prismo HiT3®产品在2021年持续服务客户。中微公司还在2021年6月正式发布用于高性能MiniLED量产的MOCVD设备Prismo UniMax®。

据悉，该设备专为高产量而设计，具有高波长均匀性、高良率等优点，可同时加工164片4英寸或72片6英寸外延片。截至2021年12月，该设备已收到来自国内多家领先客户的批量订单合计超过100腔。

进入2022年，Prismo UniMax®持续获得客户认可，目前订单已超180腔。其中，2022年3月28日，中微公司宣布其全资子公司南昌中微接到来自兆驰半导体（兆驰股份的全资子公司）52腔Prismo Unimax® MOCVD设备采购订单。

中微公司还积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备，启动了应用于制造Micro LED、功率器件等生产的MOCVD设备的开发。

其中，应用于Micro LED高端显示的MOCVD设备和应用于碳化硅功率器件的外延设备还处于研发阶段；而制造硅基氮化镓功率器件用MOCVD设备已在客户芯片生产线上验证。