半导体行业困局

•如何在摩尔定律持续演进的情况下，对设备精度和性能提出更高要求？

•如何满足半导体设备技术突破路径呈现出多元化和差异化特征？

•如何助力半导体设备企业从单机台突破创新到平台式创新的转变？

倍福为您破局

01  EtherCAT

快速、开放、享誉全球

EtherCAT 是倍福的超高速工业以太网技术。自 2003 年以来，它在速度和同步精度方面树立了新的标准，如今已被认为半导体行业的全球标准。

✓ 超高速、可靠的通信标准

✓ 保持技术的永久兼容性

✓ 专为极端严苛应用环境量身打造的创新解决方案

02  XPlanar 平面磁悬浮输送系统

高度灵活的晶圆输送

有了 XPlanar，您的生产部件可以在一个工具内以及在几台设备间以自由悬浮的方式输送：它具有高动态性，且无抖动，同时提供最高精度和前所未有的移动灵活性。

✓ 自由悬浮的动子，能够以最大 2 m/s 的速度无抖动地输送零件

✓ 平面模块可以自由拼接成任意几何形状的传输平面

✓ 实现灵活的零件输送，摆脱固定工位序列的束缚

03  EtherCAT 插拔式模块及测量模块

降低成本

倍福产品系列全方位满足半导体行业的所有型号采集需求：从每秒测量一次到每秒测量数千次，从电压和电流测量到温度和压力测量。而倍福的 I/O 专业技术可以更高效地帮助您打造出适用于批量生产的自动化系统。

✓  EJ 系列 EtherCAT 模块 | 插拔式设计便捷高效，紧凑、取代了复杂、专用的 I/O 信号板，并且消除了错误接线的风险

✓  ELM 系列 | 高端测量模块被集成到 EtherCAT I/O 系统中，在记录过程关键测量通道数据时也表现出极高的可靠性。

✓  TwinCAT Scope | 能够以图形化方式精确显示个位数微秒范围内的测量信号

04  TwinSAFE 全集成安全解决方案

为 EtherCAT 系统量身定制的安全解决方案

倍福的 TwinSAFE 为半导体设备行业量身定制的安全解决方案，打破了控制技术领域长期存在的“安全功能”和“非安全功能”分离局面，在实施过程中表现出高度灵活性和可扩展性。有了 TwinSAFE，就能够根据不同的应用需求与实施方式，将各种所需的安全功能灵活地集成到任何控制架构之中。最后可以根据您的具体需求量身定制完整的安全解决方案。

✓ 为实施定制化安全应用提供全面的软件支持

✓ Safety over EtherCAT  助力实现开放性和灵活性

✓ 适用于所有应用领域的 TwinSAFE 逻辑的组件

05  针对半导体行业的中央控制解决方案

实现高度模块化设计以及多功能性

基于 PC 的控制技术使用可满足各种性能等级需求的工业 PC 完成所有控制任务。包括过程控制、HMI 集成、运动控制以及机器人技术、安全和测量技术以及视觉和物联网集成领域的所有控制任务。结合模块化且具备实时能力的 TwinCAT 软件平台以及 EtherCAT 超高通信系统，基于 PC 的控制技术可为您的晶圆厂打造出一种既强大又具备前瞻性的自动化解决方案。

✓  开放式架构可实现最大的设计自由度和定制化解决方案

✓  强大的实时环境，可自动执行所有控制任务

✓  通过自由选择和集成高性能的工业 PC，可以根据具体的应用需求轻松进行扩展

总结

从打破半导体技术瓶颈到引领半导体设备技术突破路径，从单点设备突破到全产链智能化重构，倍福正以开放架构、精准控制与创新产品，完成半导体设备企业实现高可靠性，高速度，高精度的设备需求，共赴半导体智能制造新征程。