这里简单回顾三个关键设计要点:
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端子改造:在保持原有引脚位置不变的前提下,SEMITRANS 20封装新增3个辅助端子,实现对全部四个开关的完整控制;
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热设计:采用 Si₃N₄ AMB 基板,芯片结温较标准 Al₂O₃ 陶瓷降低 20K,同等结温假设下输出电流能力提升15%;
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低杂散电感布局:通过3D电磁场仿真迭代优化母排几何,并采用Split-TNPC芯片布局,关键换流路径的杂散电感最高降低 57%。
设计目标再好,最终要靠实测数据说话。
今天我们就从电气性能测试的维度,逐项验证这个模块的设计是否兑现——正向导通特性、双脉冲SOA与栅极电阻选取、开关波形、杂散电感实测,以及 Si₃N₄ AMB 带来的热阻改进,用数据一一回应。
测量结果
正向导通特性
正向特性曲线在主端子处测得。各支路的正向导通测量结果几乎完全一致,表明模块内部结构具有高度对称性。

IGBT T1/T4 与二极管 D1/D4 的导通特性

T2D3 与 T3D2 路径的导通特性
SOA测量与栅极电阻选取
四条换流路径的栅极电阻通过双脉冲测试确定。确定Rgoff时,IGBT在室温和150°C下以两倍额定电流(1800A)关断,同时测量芯片上的过电压。四条换流路径均需执行该流程,本文以其中两条路径为例展开,并与对应的另外两条路径进行对比。

双脉冲测试平台
换流路径 T1 – T2 D3(T4 – T3 D2)

换流回路 T1 – T2 D3 电路图
1700V开关T1在仅600V的换流电压下关断,电压裕量充足,Rgoff可低至0Ω。观察到的过压特性为该IGBT技术的典型表现:随 Rgoff 减小,过压先升高至最大值,随后继续减小Rgoff趋近0Ω时略微回落。当Rgoff ≤ 1Ω时,包含驱动器与模块的栅极回路阻尼不足,栅极回路杂散电感可能与芯片电容谐振,因此推荐Rgoff ≥ 1Ω。

T1 关断过压特性
由于Rgoff低于4Ω时关断损耗保持不变,最终T1/T4选取 Rgoff = 1.5 Ω。T4 的结果与T1类似。

T1/T4 关断损耗 Eoff 随 Rgoff 的变化(600V,900A)
确定T1的Rgon时,在双脉冲测试中关断二极管D3并测量其过压——此时 1700V IGBT与1200V二极管换流。为找到临界工况,电流从额定值变化至接近零,覆盖室温与150°C。在全部电流与Rgon范围内,未出现临界过压。
二极管的软恢复特性带来了相应的反向恢复电流峰值:Rgon = 0.5Ω 时,反向恢复电流峰值达到2倍额定电流。Rgon的选取在开关损耗与二极管反向电流峰值之间折中,最终选定Rgon = 1.5Ω。T1/T4与D2/D3 的开通、关断损耗非常接近,再次印证了换流路径的对称性。

T1/T4 的 Eon 与 D2/D3 的 Err(600V,900A,150°C)
换流路径 T3 D2 – D1(T2 D3 – D4)

换流回路 T3 D2 – D1 电路图
1200V开关 T2/T3 的电压裕量小于1700V开关,需要更大的Rgoff以维持反偏安全工作区(RBSOA)。Rgoff = 3Ω时过压已触及芯片极限,因此 T2/T3 选取 Rgoff = 3.6Ω,为芯片耐压保留约100V的安全裕量。

T3 关断过压(600V,1800A,25°C)

T2/T3 关断损耗 Eoff 随 Rgoff 的变化(600V,900A,150°C)
两条内部换流路径T3 D2-D1 与 T2 D3-D4 的关断损耗几乎相同,而T2与T3的开通损耗存在一定差异。这可归因于开通瞬间负载电流对栅极的负反馈不同,计划在下一版模块中改进。

T2/T3 的 Eon 与 D1/D4 的 Err 随 Rgon 的变化(900A,600V,150°C)
开关波形
T1与T4、D3与D2在开通和关断过程中的电流、电压波形几乎完全一致,两条路径布局对称。

T1/T4 关断波形(150°C,900A,Rgoff = 1.5Ω)

T1/T4 开通波形(150°C,900A,Rgon = 1.5Ω)
T2与T3关断时的电流和电压波形几乎相同,T2/D3-D1与T3/D2-D4支路的主电流路径对称;开通时在二极管反向恢复峰值之后出现略微不同的电压波形,这也解释了开通损耗随Rgon变化的差异。该差异由主电流路径与T2/T3栅极电路之间不同的感性耦合引起。总体而言,实测波形符合预期。

T2/T3 关断波形(150°C,900A,Rgoff = 3.6Ω)

T2/T3 开通波形(150°C,900A,Rgon = 0.5Ω)
杂散电感测量
四条换流路径的杂散电感按 IEC 60747-15 测量。被测器件(DUT)本身不开关,而是由外部开关在DUT中产生电流斜率。图示示例中,D3、T2 和D1作为与负载电感并联的续流路径,外部开关开通时,DUT中的电流以近乎恒定的di/dt关断,测量DC+ 与 N之间的电压即可确定杂散电感。

模块杂散电感测量装置(TOP 路径 1)
需要说明的是,电感仿真考虑的是包含T1 与 T2/D3 的换流路径;而在测量中,电流流经二极管D1而非晶体管T1。由于开关T1与二极管D1的芯片位于同一块AMB基板上且直接相邻,由此产生的差异可忽略不计,并已通过仿真确认。
仿真与实测结果对比如下,两者高度吻合,偏差在测量容差范围内:

Si₃N₄ AMB带来的热阻改进
测量了T1/T4开关的结-壳热阻Rth j-c,并与采用同型号IGBT、Al₂O₃ DBC基板的模块在相同测试条件下对比。结果表明:Si₃N₄ AMB 方案的Rth j-c 比 Al₂O₃ DBC方案低约35%。

利用实测的热阻值与开关损耗数据,在SemiSel仿真软件中对模块建模并参数化,随后在不同冷却方式与负载参数下进行了系统级仿真,结果验证了项目初期的预测:
•风冷条件下,AFE应用中模块输出可达500kW;
•液冷条件下,输出可达750kW。
结论
本文介绍了基于改进型SEMITRANS 20封装的高功率密度3L-TNPC模块的成功开发与实验验证,要点如下:
•通过引入3个辅助端子并采用对称的Split-TNPC布局,在单一封装内集成了完整的TNPC拓扑,保证了换流路径均衡;
•借助内部母排几何的3D有限元迭代仿真,关键换流路径的寄生杂散电感最高降低57%,仿真精度经实验测量确认,计算值与实测值高度吻合;
•Si₃N₄ AMB基板与芯片烧结工艺的组合,使结温降低20K、Rth j-c 降低约35%、功率循环能力翻倍;
•基于实测Rth与开关损耗数据的系统级仿真确认:AFE工况下风冷可达500 kW、液冷可达750kW。
该设计经验证是一套面向现代高效变流系统需求的高性能解决方案。
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