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微米级电子芯片检测这都不是事儿 ——福禄克Tix660红外热像仪可对微米级别的目标进行检测

已有72311次阅读2016-03-28标签:


微米级小芯片的检测一直是研发领域检测的难点,常见的热像仪可有效检测的最小目标通常为0.2mm以上,对于微米级别的芯片晶格和元器件来说,需要在像素和光学系统上均达到一定性能要求才可以准确检测

福禄克高端红外热像仪配套专用的微距镜头,可对最小32微米的目标进行有效检测


芯片的晶

 


TiX660加装微距镜头3拍摄的芯片晶

 

应用案例

某研究所需要检测芯片晶格的温度分布情况。从现场的检测情况来看,两排晶格器件,上排器件的温度为34.1,而下排器件的温度为34.2,说明在散热方面,各方位排列的器件的散热情况是不相同的,研究人员可以据此测试不同的排列对器件的影响,并对某些问题器件进行单独检测


检测要求

检测的目标小于0.2mm,现场有红外窗口遮挡,故无法近距离检测,需要在10厘米处才可以安放热像

 

解决方案

大师系列热像仪 + 微距镜头3 + 长焦镜头 + 三脚架 + 二维可调精密位移云

微距镜头3+长焦镜头的配置正好可以满足检测小目标和较远的对焦距离的双重需求,为使现场检测对焦方便,使用三脚架+二维可调精密位移云

 


 

行业应用:

需要检测的目标小于0.2mm的微电子或电子器件的研究部门,特别是在0.1mm以内的微米级电子器件,如芯片、集成电路、电子元器件等。

福禄克公司(FLUKE)

福禄克公司成立于1948年,是世界电子测试工具的佼佼者,多年来,创造和发展了一个特定的技术市场,为各个工业领域提供了优质的测量和检测故障产品。福禄克的用户涵盖面广,包括技术人员、工程师、计量人员等等,他们利用福禄克的测试工具进行工业用电、电器设备和过程校准的安装、故障诊断和管理,并以此控制质量。在过去的五年中,福禄克的测试工具屡获殊荣,赢得了《测试与测量世界》最佳测试工具奖、《控制工程》工程师选择奖等50多个年度产品奖项,备受用户赞誉。

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